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    上海博測環境科技有限公司

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    • 半導體IC/晶圓制造廠煙氣排放在線監測
    半導體IC/晶圓制造廠煙氣排放在線監測

    【關鍵點】:ppm級,同時多測點監測, SO2、NOx、HCl、HF、Cl2、NH3等,以及VOCs氣體。

    【產品簡介】:BO-SYS400IC滿足同時監測全部排口,多種因子,包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該系統采用了先進的光譜法(UV/IR)監測酸堿氣體和氣相色譜法(GC-FID)監測VOCs氣體。?

    【應用領域】:半導體IC集成電路制造廠、晶圓制造廠。

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    產品詳情

    一、產品介紹

    半導體集成電路(IC)/晶圓制造是我國重點扶持和發展的領域,在生態環境保護方面,IC/晶 圓制造廠也在加大投入污染治理和污染物在線監控,以降低對生態環境和居民的影響。

    煙氣排放在線監測 

    二、半導體IC/晶圓制造廠煙氣排放在線監測技術特點

    然而,IC/晶圓制造廠的廢氣/煙氣排放煙囪很多,有酸性排口,堿性排口(NH3)和VOCs排 口,每個Fab廠都有十到幾十個煙囪排口,而且酸性氣體多(HCl、HF、Cl2、H2SO4等)和VOCs種類多(非甲烷總烴、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、三氯乙烯等),要對每個煙囪排口進行在線監測,就需要綜合考慮國際上先進的監測技術和建設經濟效益,選擇最優的解決方案。

    三、BO-SYS400IC解決方案 

    BO-SYS400IC是我司針對上述難點所提供的整體解決方案,滿足同時監測全部排口,多種因子,包括了酸性氣體、堿性氣體和VOCs氣體。該方案采用了先進的光譜法(UV/IR)監測酸堿氣體和氣相色譜法(GC-FID)監測VOCs氣體。 

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